Le collage moléculaire est une technique d'assemblage de deux matériaux qui connait une utilisation croissante en micro-électronique et microtechnologie. Elle est basée sur l'adhésion spontanée de deix surfaces A et B indépendamment de leurs structures cristallines respectives et lorsque celle ci sont suffisamment planes et peu rugueuses.
Par exemple elle permet d'assembler un monocristal sur un autre, créant ainsi à l interface un joint de grain macroscopique, ou encore elle permet de déposer sur un isolant amorphe tel que le silice, un monocristal de silicium, ce qui permet de fabriquer un substrat de type silicium sur isolant (SOI).
En combinant rayonnement X et haute énergie et incidence rasante, nous avons déterminé les différences d'énergie d'adhésion pour différente interfaces de collages. (Hydorphiles, Hydrophobes) en fonction des différents parémètre (Nature du matérieux, rugosité, exposition plasma). |